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以及大气alier、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模
【概要描述】
- 分类：机械知识
- 作者：PA视讯
- 来源：
- 发布时间：2026-05-26 08:21
- 访问量：2026-05-26 08:21
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产物包罗大气机械手、实空机械手系列、实空传输平台，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越？
以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。已迈入先辈制程产线示范使用阶段；
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